대한민국

태양광 제조

태양광 발전은 전 세계가 더욱 친환경적인 에너지원을 향해 나아가는 데 있어 점점 더 중요한 역할을 하고 있습니다. 광전지(PV) 소자가 태양광 혁명의 기본 초석이 되면서, 고품질의 대용량 PV를 제조할 수 있는 능력은 성공의 핵심 요소가 되었습니다. 태양광 반도체 공장 라인 전체에 공정 제어 시스템과 전략을 배치하는 것은 태양광 전지 제조업체가 효율성, 수율 및 전반적인 수익성을 개선하는 데 필수적입니다.

MicroSense® PV-6060

비접촉 광전지 측정 모듈

MicroSense® PV-6060 광전지 계측 모듈은 태양광 웨이퍼 두께, 웨이퍼 총 두께 변화(TTV) 및 웨이퍼 저항에 대한 인라인 측정을 위해 높은 정확도와 탁월한 처리량을 제공합니다. 안전성이 높고 소음이 낮은 MicroSense PV-6060의 첨단 비접촉 정전용량 센서는 서브미크론 분해능과 반복 가능한 두께 측정 기능을 제공합니다. MicroSense PV-6060 시스템은 OEM 제조 인라인 태양광 웨이퍼 검사 및 선별 시스템에서 사용하기 위해 자동화된 웨이퍼 전송에 간단하고 유연하게 통합할 수 있는 모듈식 설계를 제공합니다.

Quali-Fill® Libra®

도금을 위한 온라인 화학물 관리 시스템

Quali-Fill® Libra® 시스템은 반도체 첨단 패키징, 태양광, 하드 디스크 드라이브 제조를 위한 전기 도금 및 무전해 증착을 위한 독립형 계측 분석기입니다. 모듈식 시스템으로 주요 도금액 성분을 정확하게 분석하고, 감광재, 첨가제 분해 산물, 미량 이물질과 같은 오염 물질을 감지 및 정량화하여 매우 안전하고 깨끗한 웨이퍼 및 패널 제조에 필요한 화학 계측 성능을 지원합니다. 모든 반도체 안전 및 커뮤니케이션 지침을 충족하며, 웨이퍼 및 패널 패키징 공정에 사용되는 도금 화학물을 모니터링합니다. Quali-Fill® Libra® KT100는 유도 결합 플라즈마 광학 방출 분광법(ICP-OES)을 통해 원소 조성 세부 정보를 제공합니다. Quali-Dose®는 도금 제품의 품질을 관리할 수 있도록 폐쇄형 루프, 유연하고 정밀한 도징 기능을 제공합니다.

Quali-Line® Prima®

구리 다마신 공정을 위한 온라인 화학물 관리 시스템

Quali-Line® Prima® 2 시스템은 첨단 노드 도금 공정을 분석 및 제어합니다. 첨단 칩, 태양광, 하드 디스크 드라이브 대량 제조를 위해 개발된, 구리 배을 위한 화학물 모니터링 시스템은 기존, 초저농도, 고농도 구리 화학물을 지원하며 반도체 장치에 대한 정확한 구리 도금을 가능하게 합니다. Quali-Line Prima 2 시스템은 첨단 도금 장비와 쉽게 연결될 수 있으며, 무기 및 유기 성분을 최적의 정확도와 재현성, 그리고 빠른 분석으로 정밀 제어를 제공합니다

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