대한민국

화학 공정 제어

KLA의 화학 공정 제어 제품은 웨이퍼 레벨 패키징(WLP), 패널 레벨 패키징(PLP) 및 IC 기판에 사용되는 습식 화학 물질의 분석 및 모니터링을 포함하여 첨단 패키징 제조를 위한 다양한 응용 분야를 지원합니다. 패키징 기술 개발을 위한 분석 시스템부터 전자동 온라인 화학 물질 모니터링을 위한 턴키 솔루션에 이르기까지, KLA의 제품은 엔지니어들이 첨단 패키징 공정을 제어하는 데 매우 유용합니다. KLA의 화학 공정 제어 시스템이 제공하는 정보를 통해 패키징 제조업체들은 신속하게 공정을 최적화하고 더 높은 수율과 신뢰성을 달성할 수 있습니다.

Quali-Fill® Libra®

도금을 위한 온라인 화학물 관리 시스템

Quali-Fill® Libra® 시스템은 반도체 첨단 패키징, 태양광, 하드 디스크 드라이브 제조를 위한 전기 도금 및 무전해 증착을 위한 독립형 계측 분석기입니다. 모듈식 시스템으로 주요 도금액 성분을 정확하게 분석하고, 감광재, 첨가제 분해 산물, 미량 이물질과 같은 오염 물질을 감지 및 정량화하여 매우 안전하고 깨끗한 웨이퍼 및 패널 제조에 필요한 화학 계측 성능을 지원합니다. 모든 반도체 안전 및 커뮤니케이션 지침을 충족하며, 웨이퍼 및 패널 패키징 공정에 사용되는 도금 화학물을 모니터링합니다. Quali-Fill® Libra® KT100는 유도 결합 플라즈마 광학 방출 분광법(ICP-OES)을 통해 원소 조성 세부 정보를 제공합니다. Quali-Dose®는 도금 제품의 품질을 관리할 수 있도록 폐쇄형 루프, 유연하고 정밀한 도징 기능을 제공합니다.

QualiSurf®

첨단 패키징 분야에서 습식 식각/세정 화학물에 대한 온라인 모니터링 시스템.

QualiSurf® 화학물 모니터링 시스템은 첨단 웨이퍼 수준 및 패널 수준 패키징 공정에서 첨단 세정 및 습식 식각 응용 분야를 지원하여 최적화되지 않은 화학물으로 인한 폐기물을 최소화합니다. 화학 성분과 식각 제품 또는 공정 오염 물질(재생 화학물의 경우) 분석에 맞게 제작되었으며, 스펙트럼, 전기 화학, 적정법을 포함한 15개 이상의 통합 분석 방법을 기반으로 하여 강력한 통찰력을 제공합니다. QualiSurf 온라인 계측 시스템은 자동 교정, 검증, 자체 분석기 상태 점검을 통해 보장되는 높은 정확도와 재현성으로 각 패키징 제조 공정과 화학물을 정확하게 모니터링 및 제어합니다.

The QualiLab Elite® 벤치탑 장비는 진화하는 산업 기술과 대학에서의 응용 분야를 위한 화학물 분석을 지원합니다.

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